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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
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Pages.85-85
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2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
대기압 Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge 형식의 Remote Plasma를 이용한 Photoresist의 Ashing에 관한 연구
Park, Jae-Beom
;
Jeong, Se-Jin
;
Yeom, Geun-Yeong
박재범
(성균관대학교 신소재 공학부, 플라즈마 장치 및 공정 기술 연구실) ;
정세진
(성균관대학교 신소재 공학부, 플라즈마 장치 및 공정 기술 연구실) ;
염근영
(성균관대학교 신소재 공학부, 플라즈마 장치 및 공정 기술 연구실)
Published : 2007.08.15
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