Article Info.
Home
Article Info.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2007.08a
/
Pages.84-84
/
2007
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Ne 중성빔을 이용한 InP 의 원자층 식각에 관한 연구
Park, Sang-Deok
;
Im, Ung-Seon
;
Bae, Jeong-Un
;
Yeom, Geun-Yeong
박상덕
(성균관대학교 신소재공학과) ;
임웅선
(성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
배정운
(성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
염근영
(성균관대학교 신소재공학과, 성균나노과학기술원, 테라급나노소자개발사업단)
Published : 2007.08.15
PDF
Download PDF
〈 Previous
Next 〉
Abstract
Keywords