Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

내장형 유도결합 플라즈마 소스를 이용한 나노 다결정 실리콘 증착 및 특성 연구

  • 김흥범 (성균관대학교 성균나노과학기술원) ;
  • 이형철 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 성균나노과학기술원, 성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2007.08.15
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