Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.08a
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- Pages.79-79
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- 2007
Low-angle forward-reflected neutral beam을 이용한 표면처리 효과 및 절연특성 향상 방안 연구
- Kim, Seong-U ;
- Park, Byeong-Jae ;
- Gang, Se-Gu (SAINT) ;
- Lee, Hyeong-Cheol ;
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Yeom, Geun-Yeong
(SAINT)
- 김성우 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 강세구 (성균나노과학기술원) ;
- 이형철 (성균관대학교 신소재공학과) ;
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염근영
(성균관대학교 신소재공학과, 성균나노과학기술원, 테라급나노소자개발사업단)
- Published : 2007.08.15
Abstract
Keywords