Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.05a
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- Pages.27.2-27.2
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- 2007
CMP Conditioner의 Diamond 크기, 배열, 형상 변화가 Pad Conditioning 공정에 미치는 영향
- Gang, Bong-Gyun ;
- Gang, Yeong-Jae ;
- Kim, Gyu-Chae ;
- Park, Jin-Gu ;
- Lee, Ju-Han ;
- An, Jeong-Su ;
- Jo, Byeong-Gwon
- 강봉균 (한양대학교 바이오나노공학과) ;
- 강영재 (한양대학교 재료화학공학부) ;
- 김규채 (한양대학교 재료화학공학부) ;
- 박진구 (한양대학교 재료화학공학부) ;
- 이주한 (이화다이아몬드) ;
- 안정수 (이화다이아몬드) ;
- 조병권 (한양대학교 바이오나노공학과)
- Published : 2007.05.10