CMP Conditioner의 Diamond 크기, 배열, 형상 변화가 Pad Conditioning 공정에 미치는 영향

• Gang, Bong-Gyun ;
• Gang, Yeong-Jae ;
• Kim, Gyu-Chae ;
• Park, Jin-Gu ;
• Lee, Ju-Han ;
• An, Jeong-Su ;
• Jo, Byeong-Gwon

• 강봉균 (한양대학교 바이오나노공학과) ;
• 강영재 (한양대학교 재료화학공학부) ;
• 김규채 (한양대학교 재료화학공학부) ;
• 박진구 (한양대학교 재료화학공학부) ;
• 이주한 (이화다이아몬드) ;
• 안정수 (이화다이아몬드) ;
• 조병권 (한양대학교 바이오나노공학과)

• Published : 2007.05.10

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