Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

오존수를 이용한 실리콘 웨이퍼 연마 후 지용성 왁스 제거 효율 및 습식 세정 공정의 최적화에 관한 연구

  • 이재환 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 이승호 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 김태곤 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 박진구 (한양대학교 재료화학공학부)
  • Published : 2007.05.10
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