Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2007.06a
- /
- Pages.233-234
- /
- 2007
- /
- 2005-8446(pISSN)
Developing Micro device of Measurement Stage for TEM
투과전자현미경용 시료 측정 스테이지 미세부품 개발
- Kook, M.H. ;
- Lee, S.Y. ;
- Kim, H.S. ;
- Yang, S.C. ;
- Kim, G.H. ;
- Youn, Y.J.
- 국명호 (한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀) ;
- 이상용 (한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀) ;
- 김효식 (한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀) ;
- 양순철 (한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀) ;
- 김건희 (한국기초과학지원연구원 초정밀가공팀) ;
- 김윤중 (한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부)
- Published : 2007.06.20