Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
- /
- Pages.1351-1352
- /
- 2007
Electrical characteristics of MOS capacitors with Ge nanocrystals embedded in high-k materials
고유전체 박막에 형성된 Ge 나노크리스탈을 이용한 MOS 커패시터의 전기적 특성
Abstract
Keywords