Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

대향타겟식 스퍼터링법으로 제작된 ITO박막의 특성

  • 금민종 (경원대학교 전기정보공학과) ;
  • 김현웅 (경원대학교 전기정보공학과) ;
  • 김경환 (경원대학교 전기정보공학과)
  • Published : 2006.02.01
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