Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Eximer laser를 이용한 a-Si박막의 결정화 현상 연구

  • 경재선 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 조종규 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 천혁녕 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 서민수 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 안일신 (한양대학교 응용물리학과)
  • Published : 2006.02.01
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Abstract

Keywords