Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화

  • 오성재 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 홍원의 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 신소재공학과)
  • Published : 2006.02.01
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