Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Electrical properties of ITO films on plastic substrate deposited by RF superimposed DC magnetron sputtering method

  • 김도근 (한국기계연구원 표면기술연구센터) ;
  • 박미랑 (한국기계연구원 표면기술연구센터) ;
  • 정유정 (한국기계연구원 표면기술연구센터) ;
  • 이성훈 (한국기계연구원 표면기술연구센터) ;
  • 이건환 (한국기계연구원 표면기술연구센터)
  • Published : 2006.02.01
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Abstract

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