Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DC 방전으로 발생된 플라즈마 내 나노입자 밀도 측정

  • 선창래 (KAIST 물리학과 기체방전물리연구실) ;
  • 박호용 (KAIST 물리학과 기체방전물리연구실) ;
  • 최원호 (KAIST 물리학과 기체방전물리연구실) ;
  • 박성종 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • Published : 2006.02.01
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Abstract

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