한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)
- 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
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- Pages.64-67
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- 2006
증착 변수에 따른 TCO 박막의 전기적 및 광학적 특성
The Electrical and Optical Characteristics of TCO Thin Films with Processing Parameters
- 정충헌 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
- 홍윤정 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
- 김혜진 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
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이규만
(한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
- 안진형 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
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김상호
(한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
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김영철
(한국기술교육대학교 신소재공학과)
- Jeong, Chung-Heon (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
- Hong, Youn-Jeong (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
- Kim, Hye-Jin (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
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Lee, Kyu-Mann
(Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
- An, Jin-Hyung (Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
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Kim, Sang-Ho
(Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education) ;
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Kim, Yeong-Cheol
(Dept. of Advanced Materials Engineer ing, Korea University of Technology and Education)
- 발행 : 2006.10.12
초록
RF 스퍼터링법을 이용하여 AZO(Al 2wt%, ZnO 98wt%)박막을 glass위에 증착한 후 증착 시간과 증착 압력에 따른 면저항, roughness 및 광투과도를 조사하였다. 본 연구에서 AZO박막의 면 저항은 4-point probe(Guardian, 402S)으로 측정하였으며 광투과도는 IR-VIS-UV spectrophotometer로 측정하였다. AZO 박막을 20분 증착하는 동안, 아르곤 flow양이 50, 100, 150sccm일 때 면저항은
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