Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Sintering Behavior and Dielectric Properties of Cordierite Ceramics for LTCC Substrate

저온동시소성 기판용 Cordierite계 세라믹스의 소결거동 및 유전특성

  • Hwang, Il-Sun (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
  • Yeo, Dong-Hun (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
  • Shin, Hyo-Soon (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
  • Kim, Hyo-Tae (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology) ;
  • Kim, Jong-Hei (Korea Institute of Ceramic Engineering and Technology)
  • Published : 2006.06.22
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Abstract

Cordierite 결정상을 LTCC공정 적용온도에서 소결하기 위한 glass 조성을 조사하였다. 상용의 glass중 Pb-B-Si-O계, Na-Zn-B-O계 glass를 선택하였고 LTCC용 기판소재로서의 가능성을 확인하기 위하여 저온 동시소성이 가능한 소결온도인 $850^{\circ}C$와 $1000^{\circ}C$ 사이에서 소재의 소결실험을 진행하였다. 소결조건에 따른 상변화, 유전특성을 확인한 결과 glass상, 결정상, 용융에 의한 glass상으로 상의 변화가 있음을 확인 할 수 있었으며, LTCC 소결 조건에서 Pb-B-Si-O계 glass의 경우 2.9~3.7의 낮은 유전율과 0.0027의 우수한 dielectric loss, 내전압 특성을 가지고 있음을 확인하였다.

Keywords