Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2006.11a
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- Pages.105-106
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- 2006
A study on properties of ZnO:Al films on polyimide substrate
Polyimide 기판을 이용한 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구
- Lee, Dong-Jin (Kunsan Nat. Univ.) ;
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Lee, Jae-Hyeong
(Kunsan Nat. Univ.)
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Ju, Jung-Hun
(Kunsan Nat. Univ.)
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Lee, Jong-In
(Kunsan Nat. Univ.)
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Jung, Hak-Kee
(Kunsan Nat. Univ.)
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Jung, Dong-Su
(Kunsan Nat. Univ.)
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- Song, Jun-Tae (Sungkyunkwan Univ.)
- Published : 2010.04.01
Abstract
현재 투명 전도성 산화물로 널리 사용되고 있는 ITO등의 물질들이 갖는 문제점을 해결하기 위하여 ZnO 에 Ga이나 Al등의 불순물을 첨가하여 투명 전도성 재료로써 이에 대한 연구가 진행중에 있다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터법으로 Al이 첨가된 ZnO:Al Ceramic 타겟으로 Coring 1737 유리기판과 파손의 우려가 적고 유연성을 갖는