Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2006.05a
/
Pages.27.2-27.2
/
2006

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using $C_2F_6$ and $BCl_3-based$ gas Plasmas

강동진 (전남대학교 신소재공학부) ;
이건교 (LG 이노텍) ;
이병택 (전남대학교 신소재공학부)

Published : 2006.05.19

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords