Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.231-231
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- 2005
Effect of buffer layer deposition on the ZnO thin film by RF magnetron sputtering on Si (111) substrates
RF 마그네트론 스퍼터링으로 Si(111) 기판위에 증착한 ZnO 박막의 특성향상을 위한 buffer 층의 도입에 따른 영향
- Published : 2005.05.26
Abstract
Keywords