한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2005년도 제28회 학술발표회 초록집
- /
- Pages.101-101
- /
- 2005
Investigation of GaAs over AlGaAs and InGaP Selective Dry Etching in Planar Inductively Coupled Plasmas With $BCI_{3}$ /$SF_{6}$ based Chemistries
- 유승열 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 장수욱 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 류현우 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 박민영 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 최충기 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 임완태 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
-
전민현
(인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
-
송한정
(인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소)
- Yu, Seung-Yeol ;
- Jang, Su-Uk ;
- Ryu, Hyeon-U ;
- Park, Min-Yeong ;
- Choe, Chung-Gi ;
- Im, Wan-Tae ;
-
Lee, Je-Won
;
- Jo, Gwan-Sik ;
-
Jeon, Min-Hyeon
;
-
Song, Han-Jeong
- 발행 : 2005.02.15