한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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- Pages.168-169
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- 2005
디스플레이 시스템 응용을 위한 PET 기판 위의 $SiO_2$ 반사방지막
Silicon dioxide as antireflection coating prepared on PET for display system applications
- Kim, Jun-Sik (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Gowtham, M. (Sungkyunkwan Univ.) ;
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Yi, Jun-Sin
(Sungkyunkwan Univ.)
- 발행 : 2005.07.07
초록
실온에서 디스플레이 응용을 위하여 ICP CVD로 PET기판 위에 실리콘 산화 반사 방지막을 성장시키고, EDXA로 분석하였다. 분광 Ellipsometer, UV-V와 FTIR분광기를 이용하여 반사율을 3%이하까지 낮출 수 있다는 것을 확인하였고, SEM장비를 이용하여 표면 상태를 알아보았으며. Essential Macleod 광학디자인 프로그램을 이용한 시뮬레이션 결과와 일치함을 확인하였다. 본 연구결과를 이용하면 다층박막 대신 단층 반사방지막을 제작하여 경제적이고, 효과적인 반사방지막을 제작할 수 있다.