한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

다이아몬드상 카본박막의 열처리 온도에 따른 Friction Force Microscopy 분석에 관한 연구

Study on the Friction Force Microscopy Analysis of Diamond-like Carbon Films according to the Annealing Temperature

  • 최원석 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 조윤혜 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 전영숙 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 허진희 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 정일섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Choi, W.S. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Cho, Y. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Park, Y.S. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Jeon, Y. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Heo, J. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Chung, I. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Hong, B. (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University)
  • 발행 : 2005.07.07
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초록

본 연구에서는 RF 플라즈마 화학기상증착 장비를 사용하여 동일조건에서 합성된 100 nm 두께의 DLC박막을 RTA 장비를 사용하여 $N_2$ 분위기로 여러 가지 온도에서 ($300\sim900^{\circ}C$) 후열처리된 DLC 박막들의 마찰특성 변화를 AFM (Atomic Force Microscopy)의 FFM (Friction Force Microscopy) 모드를 사용하여 관찰하였다.

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