한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)
- 한국광학회 2005년도 하계학술발표회
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- Pages.46-47
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- 2005
연마 조건에 따른 GaAs/Si$_3$ N$_4$ /SiO$_2$ /Si 웨이퍼의 접합력 비교
Depending on Polishing Conditions of GaAs/Si3N4/SiO2/Si Wafers to Compare with Bonding Forces
- 발행 : 2005.07.14