선택성장법을 이용한 III-V족 화합물 반도체 박막의 특성

Studies on selective MOVPE growth of III-V compound semiconductor

  • 이우원 (한국전자통신연구원 광소자연구부, 충남대학교 재료공학과) ;
  • 김성복 (한국전자통신연구원 광소자연구부) ;
  • 김기수 (한국전자통신연구원 광소자연구부) ;
  • 심은덕 (한국전자통신연구원 광소자연구부) ;
  • 김도진 (충남대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2005.07.14