한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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- Pages.250-251
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- 2005
PECVD로 제조한 $SnO_2$ 박막의 구조적 특성
Structural Characteristics of $SnO_2$ Thin Films prepared by PECVD
- Lee, Jeong-Hoon (Chungbuk Univ.) ;
- Jang, Gun-Eik (Chungbuk Univ.) ;
- Son, Sang-Hee (Cheongiu Univ.)
- 발행 : 2005.11.10
초록
Tin dioxide (SnO