한국정보통신설비학회:학술대회논문집

Korea Institute of Information and Telecommunication Facilities Engineering (한국정보통신설비학회)
권호 표지

MEMS Probes for Permittivity Measurement

유전율 측정을 위한 MEMS 프로브

  • Jeong Geun-Seok (Department of Electrical & Computer Engineering. University of Seoul) ;
  • Jeong Eum-Min (Department of Electrical & Computer Engineering. University of Seoul) ;
  • Kim Jung-Mu (Center for 3-D Millimeter-wave integrated Systems, School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Park Jae-Hyoung (Center for 3-D Millimeter-wave integrated Systems, School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Cho Jei-Won (Center for 3-D Millimeter-wave integrated Systems, School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Cheon Chan-Yul (Department of Electrical & Computer Engineering. University of Seou) ;
  • Kim Yong-Kweon (Center for 3-D Millimeter-wave integrated Systems, School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
  • Kwon Young-Woo (Center for 3-D Millimeter-wave integrated Systems, School of Electrical Engineering, Seoul National University)
  • 정근석 (서울시립대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 정음민 (서울시립대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 김정무 (서울대학교 전기공학부 3차원 밀리미터파 연구단) ;
  • 박재형 (서울대학교 전기공학부 3차원 밀리미터파 연구단) ;
  • 조재원 (서울대학교 전기공학부 3차원 밀리미터파 연구단) ;
  • 천창율 (서울시립대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 김용권 (서울대학교 전기공학부 3차원 밀리미터파 연구단) ;
  • 권영우 (서울대학교 전기공학부 3차원 밀리미터파 연구단)
  • Published : 2004.08.01
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Abstract

본 논문은 초고주파 영역에서 개방 단말 동축선을 대신해서 복소 유전율을 측정할 수 있는 MEMS 프로브와 그 응용예로 MEMS 프로브 어레이를 제안한다. MEMS 프로브는 기존의 동축선 프로브와 달리 커넥터와의 연결이 간단하여 일회용으로 프로브를 사용할 수 있다는 점에서 의료용으로 사용할 수 있는 가능성이 있다. 샘플의 유전율 분포를 구하기 위해서 기존의 센서는 반복 접촉을 요구하고 이로 인한 번거로움과 측정 오차를 줄일 목적으로 MEMS 프로브 어레이를 개발 하였다. MEMS 프로브 어레이는 RF 스위치를 사용하여 다수의 측정 포인트를 한번의 센서 접촉으로 측정할 수 있는 새로운 개념의 프로브이다. 1GHz부터 40GHz까지의 광대역에서 0.9% 식염수의 유전율을 측정하여 MEMS 프로브의 성능을 검증하였다.

Keywords