한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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- Pages.886-889
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- 2004
격자전극을 가진 질화탄소막 습도센서
CNx humidity sensors with a grid electrode
- Lee, Ji-Gong (Kyungnam University) ;
- Kim, Jung-Hun (Kyungnam University) ;
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Lee, Sung-Pil
(Kyungnam University)
- 발행 : 2004.07.05
초록
격자전극을 가진 질화탄소막을 이용하여 새로운 습도센서를 개발하였다. 결정성 질화탄소막의 감습 특성을 조사하고, 광범위한 상대습도(