Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

CNx humidity sensors with a grid electrode

격자전극을 가진 질화탄소막 습도센서

  • Published : 2004.07.05
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Abstract

격자전극을 가진 질화탄소막을 이용하여 새로운 습도센서를 개발하였다. 결정성 질화탄소막의 감습 특성을 조사하고, 광범위한 상대습도($10%\sim90%$)에 대해 민감한 임피던스와 커패시턴스 의존도를 보였다. 특히 격자전극은 습기의 자유로운 흡 탈착을 용이 하게 하여 센서의 히스테리시스를 줄였다. 또한, 질화탄소막은 물리, 화학적으로 안정한 물질이므로 고온, 고습 및 화학적으로 열악한 환경 속에서도 뛰어난 특성 을 나타내었다.

Keywords