Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2004.11a
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- Pages.640-643
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- 2004
Chromaticity Coordinate Properties of Argon Gas Using Inductively Coupled Plasma
유도결합형 플라즈마를 이용한 아르곤 가스의 색 좌표 특성
- Lee, Young-Hwan (WonKwang University) ;
- Pack, Kwang-Hyeon (WonKwang University) ;
- Choi, Yong-Sung (WonKwang University) ;
-
Park, Dae-Hee
(WonKwang University)
- 이영환 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) ;
- 백광현 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) ;
- 최용성 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) ;
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박대희
(원광대학교 전기전자 및 정보공학부)
- Published : 2004.11.11
Abstract
유도결합형 플라즈마는 낮은 가스 압력에서도 고밀도의 플라즈마를 발생시키기 때문에 무전극 램프에 많이 적용되고 있다. 그리고 무전극 램프는 장 수명을 실현하고 고품질의 빛을 발생하기 때문에 앞으로 광범위하고 다양한 장소에 사용이 예상된다. 본 논문에서는 유도결합형 플라즈마를 이용한 아르곤 가스의 방전 특성 중에서 색 좌표 특성을 살펴보았다. 즉, 외부 안테나에 의해 발생된 13.56[MHz]의 RF Power를 방전관 내부로 전달하고, 아르곤 가스 압력과 RF Power 변화에 따른 아르곤 가스의 방전 특성을 측정하였다. 또한, 유도결합형 플라즈마를 방전시키기 위한 아르곤 가스의 압력은 1[mTorr]에서 100[mTorr], RF 전력은 10[W]에서 120[W]이며 이의 색 좌표 특성과 스펙트럼을 살펴보았다. 측정 결과 RF 출력이 증가하면 색 좌표의 x, y 값이 동시에 감소하였다. 아르곤 가스 압력이 증가하면 농도의 증가로 인해 발광이 어려웠으며, 색 좌표 특성은 압력이 증가하면서 y 값은 변화가 적었으나 x 값이 100[mTorr]일 크게 증가하는 현상이 나타났다.