Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2004.07a
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- Pages.401-404
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- 2004
Simple ${\mu}-scale$ selective patterning on a single nanowire by using an optical microscope
광학 현미경을 이용한 단일 나노선에서의 선택적 전극 형성 방법
- Oh, Dong-Jin (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
- Kim, Kang-Hyun (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
- Pieh, Sung-Hoon (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
- Sim, Sung-Kyu (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
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Lee, Jong-Su
(Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
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Kim, Sang-Sig
(Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
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Kim, Gyu-Tae
(Department of Electrical Engineering, Korea Univ.)
- 오동진 (고려대학교 전기공학과) ;
- 김강현 (고려대학교 전기공학과) ;
- 피성훈 (고려대학교 전기공학과) ;
- 심성규 (고려대학교 전기공학과) ;
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이종수
(고려대학교 전기공학과) ;
-
김상식
(고려대학교 전기공학과) ;
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김규태
(고려대학교 전기공학과)
- Published : 2004.07.05
Abstract
광학 현미경을 이용한 포토리소그래피 방법을 통해 단일 나노선에 선택적 전극을 형성하였다.