Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2004.07a
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- Pages.317-319
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- 2004
The fabrication of Solar Cell and Doping Property using SOD Method On the Multi-crystalline Si wafer
다결정 Si 웨이퍼 기판위에 SOD방법을 이용한 도핑특성과 태양전지 제작
- Kim, Hee-Jae (PSE) ;
- Kim, Young-Kuk (PSE) ;
- Hwang, Sun-Woo (Sungkyunkwan Uni.) ;
- Kim, Dong-Hee (Chungju Uni.) ;
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Yi, Jun-Sin
(Sungkyunkwan Uni.)
- Published : 2004.07.05
Abstract
이 논문에서는 태양전지 공정 중에서 중요시되는 에미터 형성에 대한 방법 중 하나인 SOD기술을 도입하였다. SOD(Spin-On Doping)은 저가형 고효율 태양전지를 개발하기 위하여 연구되고 있는 방법 중의 하나이다. 태양전지 제작을 위해 사용한 기판은 P형 다결정 Si 페이퍼를 사용하였고, SOD 기술을 적용하여 온도와 시간에 따른 도핑특성의 변화를 실험적으로 연구하였다.
Keywords