Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference (한국음향학회:학술대회논문집)

The Acoustical Society of Korea (한국음향학회)
권호 표지

Development integrated Evaluation System for Measuring Sound and vibration of Dry Pumps

진공펌프의 소음 진동 측정을 위한 종합 성능 평가 장치 개발

  • Ryu Je-Dam (Acoustics & Vibration Group, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Cheung Wan-Sup (Acoustics & Vibration Group, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Lim Jong-Yeon (Center for Vacuum Technology, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Hong Dong-Pyo (Chonbuk National University)
  • 류제담 (한국표준연구원 음향진동 그룹) ;
  • 정완섭 (한국표준연구원 음향진동 그룹) ;
  • 임종연 (한국표준연구원 진공 기술 센터) ;
  • 홍동표 (전북대학교)
  • Published : 2004.05.01
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Abstract

드라이 펌프(Dry Pump)는 청결을 요구하는 반도체 생산 공정에 많이 사용하고 있다. 오늘날 반도체 수요의 증가와 함께 드라이 펌프의 수요도 늘어나고 있다. 그에 각 반도체 회사들은 진공 펌프의 선정이 매우 중요한 문제 중 하나로 대두대고 있다. 진공 펌프를 위한 종합 성능 평가 장치의 개발은 이들 회사에서 요구하는 펌프의 성능을 종합적으로 평가함으로써 펌프 선정의 중요한 근거 자료로 사용 할 수 있을 것이다. 본 연구에서 구축한 종합성능 평가 장치는 진공 펌프의 최대 도달 진공도(Ultimate Pressure), 배기속도(Pumping Speed), 전력 소비(Power Consumption), 진동(Vibration) 그리고 음향 파워(Sound Power)등과 같은 종합적인 성능을 한번에 평가 할 수 있다.

Keywords