한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2004년도 춘계학술발표대회 및 제6회 신소재 심포지엄
- /
- Pages.63-63
- /
- 2004
MOMBE로 성장한 고유전 $HfO_2$ 박막의 전기적 특성
Properties of high-k $HfO_2$ films grown by MOMBE
- 발행 : 2004.05.14