한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가

Microstructural characterization of TiN thin films prepared by DC magnetron sputtering

  • 김경원 (하이닉스반도체 메모리연구소) ;
  • 이태권 (하이닉스반도체 메모리연구소) ;
  • 김호정 (하이닉스반도체 메모리연구소) ;
  • 이순영 (하이닉스반도체 메모리연구소)
  • 발행 : 2004.05.14
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