Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2004.07c
- /
- Pages.2093-2095
- /
- 2004
Peristaltic nano-liter micropump with piezoelectric actuator
압전소자를 이용한 연동 구동방식의 나노리터 마이크로 펌프
- Hwang, Sung-Rae (School of Electronics Engineering, Ajou University) ;
- Sim, Woo-Young (School of Electronics Engineering, Ajou University) ;
-
Yang, Sang-Sik
(School of Electronics Engineering, Ajou University)
- Published : 2004.07.14
Abstract
본 논문은 압전소자를 구동장치로 사용한 마이크로 펌프의 제작과 실험에 관한 논문이다. 마이크로 펌프의 상부기판은 polydimethyl siloxane(PDMS)을 소재로 미세유로에 상시 닫힌 밸브가 일체화된 구조로 제작되었고, 하부기판은 polymethyl methacrylate(PMMA)를 소재로 3개의 압전 디스크가 구동기로 부착되었다. 최종적으로 상, 하부 기판은 액상 PUMS로 접합하여 제작했다. 구동기의 입력신호는 6상으로 구형파를 인가하여 연동구동하며 주파수와 전압을 가변하면서 유량을 측정하였다. 구동 주파수가 0.167 Hz이고 전압이 20 V일 때, 마이크로펌프의 1회 토출량은 104 nl이고, 유량은 1.04
Keywords