대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2003년도 하계종합학술대회 논문집 II
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- Pages.1081-1084
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- 2003
OTFT에 대한 OPVD시스템 적용에 대한 연구
The Study of Pentacene Thin Film Growth by Organic Physical Vapor Depositon System
초록
본 논문에서는 OPVD시스템을 이용하여 펜타센 박막을 형성하였고 소자제작을 통해 그 특성을 평가 하였다. OPVD시스템을 이용하여 제작된 OTFT의 이동도는 0.01㎠/V·sec로써 기존의 OMBD로 제작된 OTFT보다 약 10배 정도 향상된 값을 나타냈으며, SS는 2.5Ion/off ratio 는 10⁴, 누설전류는 100pA 였다. 이러한 OPVD시스템에 의한 방법은 대면적 성막이 가능할 뿐 만 아니라 형성된 박막의 결정도 또한 기존의 OMBD방법으로 형성된 박막보다 월등하였다.
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