한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

스펏터링 법으로 제조한 $TiB_2$ 박막의 열처리 특성

The Characteristics of Heat Treatment of $TiB_2$ Thin Films Prepared by Sputtering Process

  • 정영희 (영남대학교 재료ㆍ금속공학부) ;
  • 이해석 (영남대학교 재료ㆍ금속공학부) ;
  • 임재복 (영남대학교 재료ㆍ금속공학부) ;
  • 김규호 (영남대학교 재료ㆍ금속공학부)
  • 발행 : 2003.05.01
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