Microwave Plasma assisted Hot Filament CVD system에 의한 고속도강/c-BN 박막의 제조 및 계면층 특성에 관하여

The characteristic properties of boundary layer in high speed steel/c-BN thin films by Microwave Plasma assisted Hot filament CVD system

  • 최진일 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 이건영 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 유형종 (단국대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2003.05.01