PECVD법에 의해 증착된 plasma polymerized ethylenediamine 박막의 표면 $-NH_2$ 밀도와 증착변수와의 상관관계

• Kim, Jin-Mo ;
• Ji, Hong-Seok ;
• Park, Heon-Gyu ;
• Sim, Jeo-Yeong ;
• Jeong, Dong-Geun

• 김진모 (성균관대학교 물리학과) ;
• 지홍석 (삼성종합기술원) ;
• 박헌규 (삼성종합기술원) ;
• 심저영 (삼성종합기술원) ;
• 정동근 (성균관대학교 물리학과)

• Published : 2002.02.19

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