Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

스퍼터링 조건에 따른 Ta 피막의 배향성

  • 정재인 (포항산업과학연구원 센서.계측연구팀) ;
  • 임태균 (포항산업과학연구원 센서.계측연구팀) ;
  • 정우철 (포항산업과학연구원 센서.계측연구팀) ;
  • 전중환 (포항산업과학연구원 금속.코팅연구팀)
  • Published : 2002.02.19
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Abstract

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