스퍼터법으로 증착된 ITO/Glass 박막의 전기 및 광학적 특성과 플라즈마 처리에 따른 박막의 표면거칠기 변화

• Jeong, Myeong-Hyo ;
• Baek, Min ;
• Yun, Jong-Man ;
• Son, Yeong-Ho ;
• Hwang, Do-Won ;
• Lee, Jong-Bok ;
• An, In-U

• 정명효 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
• 백민 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
• 윤종만 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
• 손영호 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
• 황도원 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
• 이종복 ((주)나우테크) ;
• 안인우 ((주)나우테크)

• Published : 2002.02.19

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