As/Si 초 다층박막에서의 이차이온질량분석법의 정량 및 깊이 분포 측정

• Gang, Hui-Jae ;
• Jo, Seong-Bu ;
• Son, Hyeon-Gyeong ;
• Hong, Tae-Eun ;
• Kim, Hyeon-Gyeong ;
• Kim, Gyeong-Jung ;
• Lee, Hyeong-Ik ;
• Mun, Dae-Won

• 강희재 (충북대학교 물리학과) ;
• 조성부 (충북대학교 물리학과) ;
• 손현경 (충북대학교 물리학과) ;
• 홍태은 (하이닉스) ;
• 김현경 (한국표준과학연구원) ;
• 김경중 (한국표준과학연구원) ;
• 이형익 (한국표준과학연구원) ;
• 문대원 (한국표준과학연구원)

• Published : 2002.02.19

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