한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 유기절연재료 전자세라믹 방전플라즈마 일렉트렛트 및 응용기술
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- Pages.63-66
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- 2002
Mo 박막의 성장조건에 따른 Cu(InGa)$Se_2$ 박막 태양전지의 광변환효율
Photovoltaic Properties of Cu(InGa)$Se_2$ Solar Cells with Sputter Conditions of Mo films
- 김석기 (한국에너지기술연구원) ;
- 이정철 (한국에너지기술연구원) ;
- 강기환 (한국에너지기술연구원) ;
- 윤경훈 (한국에너지기술연구원) ;
- 박이준 (한국에너지기술연구원) ;
- 송진수 (한국에너지기술연구원) ;
- 한상옥 (충남대학교)
- Kim, S.K. ;
- Lee, J.C. (KIER) ;
- Kang, K.H. (KIER) ;
- Yoon, K.H. (KIER) ;
- Park, I.J. (KIER) ;
- Song, J. (KIER) ;
- Han, S.O. (Chungnam National University)
- 발행 : 2002.05.17
초록
Bi-layer Mo films were deposited on sodalime glass substrates using DC magnetron sputtering. As the gas pressure and power density, the resistivity varied from