대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2002년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- Pages.130-133
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- 2002
엑시머 레이저광의 회절에 의한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 소오스/드레인 접합부 결함 생성
Junction Defects of Self-Aligned, Excimer Laser Annealed Poly-Si TFTs
- 강수혁 (서울대학교 전기.컴퓨터공학부 전기재료 및 소자 실험실) ;
- 박기찬 (서울대학교 전기.컴퓨터공학부 전기재료 및 소자 실험실) ;
- 이민철 (서울대학교 전기.컴퓨터공학부 전기재료 및 소자 실험실) ;
- 한민구 (서울대학교 전기.컴퓨터공학부 전기재료 및 소자 실험실)
- Kang, Su-Hyuk (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
- Park, Kee-Chan (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
- Lee, Min-Cheol (School of Electrical Engineering, Seoul National University) ;
- Han, Min-Koo (School of Electrical Engineering, Seoul National University)
- 발행 : 2002.11.09
초록
엑시머 레이저를 이용한 저온(
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