한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집 (Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference)

한국마이크로전자및패키징학회 (The Korean Microelectronics and Packaging Society)
권호 표지

Mo/Si 다층박막의 반사도에 영향을 미치는 인자 연구

Factors affecting the Reflectivity of Mo/Si Multilayer

  • 김태근 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 김형준 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 이승윤 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 강인용 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 정용재 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2002.11.01
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초록

Mignetron sputter 장비를 이용하여 극자외선 노광공정용 Mo/Si 다층박막을 증착하였다. 증착 시편과 동일한 조건에서 수행된 시뮬레이션과 측정된 반사도 값을 비교하였고, d-spacing, 밀도, interface layer, 입사각 둥이 반사도에 어떠한 영향을 미치는지에 대하여 고찰하였다. 또한 측정된 반사도 그래프에 근접한 조건을 조사하였다. 이를 통하여 Mo/Si 다층박막의 반사도에 영향을 미치는 인자들과 그 영향에 대하여 알 수 있었다.

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