Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characterization of Ti-Si-N films prepared by Hybrid method

하이브리드 공정으로 제조한 Ti-Si-N 박막의 특성평가

  • 고철호 (경남대학교 공동기기센터) ;
  • 이홍림 (경남대학교 공동기기센터) ;
  • 김봉섭 (경남대학교 공동기기센터) ;
  • 김지수 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 윤존도 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 최성룡 (부산대학교 재료공학부) ;
  • 김광호 (부산대학교 재료공학부)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

Keywords