Si기반 n-MOSFET의 임팩트이온화모델 분석

Analysis of Impact ionization models for Si n-MOSFET

반도체소자의 전자전송특성을 해석하기 위하여 임팩트이온화현상은 매우 중요하다. 임팩트이온화는 전자-정공쌍들의 생성과정이므로 소자에 인가되는 전압이나 온도에 따라 소자의 특성이 변화될 수 있다. 본 연구에서는 Constant Voltage 스켈링이론을 적용하여 게이트 길이를 50nm까지 스케일 다운하였으며 TCAD시뮬레이터를 이용하여 세 가지 모델-Van Overstraeten, Okuto, Ours-에 대하여 임팩트이온화와 breakdown등을 비교 분석하였다.

For analysis of semiconductor's electrons transmission characteristics, Impact ionization(I.I.) is very important. I.I. are generation process of electron-hole pairs. Therefore, the characteristics of device can change along with applied voltage or temperature. In this paper, we are scaled down the gate length to 50nm. Also, using TCAD simulator, we are analyzed I.I. and breakdown about three models-Van Overstraeten , Okuto and Ours models.