A Study on the Formation of Ti(Ta)-capped NiSi

Ti(Ta)-capped NiSi 형성에 관한 연구

  • 박수진 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이근우 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 2002.05.01