Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.05a
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Pages.52-52
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Electrical and Structural Property of PEALD )$ZrO_2$ Gate Dielectric Depending on Annealing Temperature

전형탁 (한양대학교) ;
강계명 (서울산업대학교) ;
김양도 (한양대학교) ;
한지웅 (한양대학교) ;
구재형 (한양대학교) ;
최성우 (한양대학교)

Published : 2002.05.01

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Abstract

Keywords