Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.05a
- /
- Pages.47-47
- /
- 2002
The effect of ICP $O_2$ oxidation and $N_2O$ oxynitridation on the electrical property of gate insulator
게이트 절연막의 전기적 특성에 미치는 유도결합$O_2$ 플라즈마 산화와 $N_2O$ 플라즈마 oxynitridation 효과
Abstract
Keywords